Sensores ultrassônicos digitais de alta potência

Assegura-se a detecção confiável de wafers com condensação mesmo em uma atmosfera vaporosa imediatamente após o processo de fatiamento.

Devidos às cores e fendas do substrato, são inevitáveis a instabilidade e trepidação das saídas com sensores fotoelétricos convencionais. A série FW assegura uma detecção estável não afetada pelas cores e fendas pequenas.

Devido à transparência e às irregularidades da superfície, a detecção com sensores fotoelétricos era difícil. A série FW assegura uma detecção estável não afetada pelas projeções e depressões. Além disso, as duas saídas podem ser utilizadas para a realização separada de saídas dos limites superior e inferior.

A detecção era difícil devido à diferença minúscula de altura entre o wafer fino e o fundo. A série FW assegura a detecção confiável ao aplicar ondas ultrassônicas a partir de um ângulo para provocar ligeiras reflexões da borda.

A série FW é utilizada para a detecção dos wafers remanescentes. A detecção com sensores do tipo reflexivo era difícil porque a luz era absorvida pela película da superfície dos wafers. A série FW não é afetada pelas películas de superfície ou por fundos brilhantes.

A série FW é utilizada para o controle do nível de líquido. As duas saídas podem ser utilizadas para a realização separada de saídas dos limites superior e inferior. Além disso, o modo especial de detecção de nível de líquido permite vários controles com uma configuração simples.